激光反光鏡微調機構
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- 一、工作原理
此微調機構用于激光干涉系統中,微調機構可以使反光鏡平穩的繞兩根相交軸線作微量轉動。其原理見示意圖:反光鏡鑲在座上,座由圈上的兩個頂針支頂著,座可以繞兩頂針軸線YY旋轉;而圈由套上的兩個頂針支頂著,圈則可以帶著座繞此兩頂針軸線ZZ旋轉。從原理上說,在此情況下反光鏡可以轉到空間任意角度,但微調機構只需要反光鏡在一定的空間角度中調節。具體如下。
反光鏡3鑲在反光鏡座2中,用壓圈7壓緊,彈簧4的主要作用防止把反光鏡壓碎。鏡座由固定在調節圈6上的兩只螺釘頂針支頂著(見俯視圖),鏡座可繞頂針軸線YY作一定角度的旋轉;此小角度的旋轉,由主視圖上的調節螺釘10來進行。當調節螺釘向下旋壓時,通過墊塊10(膠粘在鏡座尾巴上)使鏡座繞YY軸轉動,則反光鏡向上旋轉;當調節螺釘向上旋時,由于鏡座尾巴套在盤簧13中(見C-C),盤簧彈力使鏡座轉動,則反光鏡向下旋轉。調節圈6是由固定在外套1上的兩只螺釘頂針支頂著(見主視圖),調節圈可繞頂針軸線ZZ作一定范圍的角度旋轉;繞ZZ軸旋轉則由俯視圖上的調節螺釘進行,情況與上面類似。螺釘5和9起防松作用,螺釘12是用來固定盤簧的。 ...
激光反光鏡微調機構_下載(dwg格式) 機械圖紙
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